光学円筒面の高精度研磨法に関する研究－第1報：母線形状の修正法

摘要

高精度の光学円筒面を得るため，母線形状の凹凸修正に優れた減耗量分布を示す研磨工具の寸法比率を検討した．傾斜自由に保持された研磨工具の移動によって生じる直線的な圧力分布勾配の変化を分割場面毎にもとめ，半ストロークの集積によって得られた減耗量分布を，各種寸法比率間で比較した．研磨工具の最適寸法比率は，試料の母線長さの75％の長さだった．また，実施例として石英ガラス製円筒面試料の研磨実験を行った．光学円筒面の高精度化のためには，最適寸法比率の研磨工具を用いるよりも，試料の母線長さと同等の長さと，25％の長さの研磨工具を併用するほうが良いことがわかった．得られた円筒面試料の形状精度はPV＝0.2λ程度，母線真直度はPV＝0.1λ程度であり，高精度なラインビーム光学システムなどに応用できる可能性を示した．