触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発とGaN表面の高精度平坦化への応用に関する研究

机译：以催化剂表面为参考面的化学抛光方法的发展及其在GaN表面高精度平面化中的应用研究

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村田順二; ムラタジュンジ;
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年度 2017
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