最近の事例に学ぶ精密位置決めの設計技術：超精密XYテーブルにおける精密位置決め技術

摘要

当社では，これらの要求に応えるためにリニアスケールを内蔵した超精密XYテーブルを開発した。 分解能としては，100nm，50nm，10nm，5nm，1nmの5種類である。 もちろh，超精密XYテーブルをコントロールするフィードバックステージコントローラ（以下コントローラ）も必要となるため，あわせて説明する。 超精密XYテーブルは位置決め目的であるが，トンボマーク（例えば十字線）を合致させる技術とは異なることを理解いただきたい。