精密超精密定位技术及其应用

摘要

介绍精密超精密定位技术的基本概念，目前国内外所能达到的定位精度水平和定位系统的构成，并对实现超精密定位的关键技术进行分析和讨论，最后介绍笔者在这一领域的研究工作。