超精密位置決め技術の最新動向と設計のポイント 総論 超精密位置決めの最新技術トレンドと利用動向

摘要

精密工学会超精密位置決め専門委員会は51社の法人会員および41名の個人委員（2016.4現在）からなり，超精密工作機械や半導体関連の超精密位置決め技術の情報交換会を年 5 回行っている。さらに1986 年以来 4 年ごとに「超精密位置決めアンケート」を実施し，位置決め技術の現状と変遷などについて調査·分析を行ってきた。アンケートの対象装置は，機械要素全般から測定機，半導体検査·製造装置，超精密加工機，工作機械などから組立て調整装置·ロボットや情報機器関連装置などまで幅広い領域にわたっており. 本誌読者が位置決め装置を設計する際の重要な参考資料となると思われる。本稿では主に2014年に実施された最新の第8回アンケート調査に基づき，位置決め技術トレンドについて解説する。