超精密位置決め技術の最新動向と設計のポイント 解説2 空気静圧ガイドを用いた位置決め機構の設計ポイント

摘要

空気静圧軸受は，絞りと呼ばれる流体抵抗を通して，加圧空気を軸受すきま内に供給し，回転軸や案内面を支持する軸受である。空気静圧ガイドは，この空気静圧軸受を，案内面を支持する軸受として用いたものであるが，すべり案内，転がり案内，油静圧案内と比較して負荷能力，減衰性には劣るものの，極めて摩擦係数が低く，案内面の位置決め特性に対する摩擦の影響を無視することができることから，半導体関連の製造装置や超精密測定器など，高速·軽負荷で高い運動精度·位置決め精度が求められる装置への適用例が多く見受けられる。本稿では，この空気静圧ガイドを用いた位置決め機構に関する設計ポイントに関して解説する。