超精密定位技术的现状及展望

摘要

几年前,将质量100kg以下的物体移动1m的距离,就可容易地以几nm的精度对目标进行定位,这样的超精密定位技术实际上已应用于制造半导体的器件和非球面透镜的超精加工工作仪器等.而且,据目前有些研究报告公布,能以0.1nm的分辨率实施定位.据测,位移传感器的精度亦将获得与之相同的定位精度.本文将概括介绍如何获得上述精度,并就今后的超精密定位技术作以展望.