声明
摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 微位移驱动器的现状
1.3 压电微位移系统中存在的问题
1.4 压电微位移系统国内外的研究现状
1.5 论文研究的主要内容及安排
1.6 本章小结
第二章 压电微位移执行器常见模型与控制
2.1 引言
2.2 压电微位移执行器常见模型
2.3 压电微位移系统控制算法
2.4 本章小结
第三章 压电超精密执行器的参数辨识与逆补偿
3.1 引言
3.2 压电超精密执行器Duhem模型中函数的确立
3.3 压电超精密执行器Duhem模型的逆补偿
3.4 实验验证
3.5 本章小结
第四章 压电超精密定位系统的建模与控制
4.1 引言
4.2 压电超精密定位系统结构及模型
4.3 跟踪-微分法压电超精密定位系统模型辨识
4.4 实验验证
4.5 本章小结
第五章 扩展输入空间法超精密定位系统神经网络建模
5.1 引言
5.2 扩展输入空间法迟滞算子的构造原则及方法
5.3 基于遗传算法的迟滞算子参数自寻优
5.4 基于扩展空间法超精密定位系统神经网络建模
5.5 本章小结
第六章 多维超精密定位系统的解耦控制与实现
6.1 引言
6.2 多维超精密定位系统解耦控制
6.3 多维超精密压电定位平台简介
6.4 德国PI公司三维精密压电陶瓷超精密定位系统建模与控制
6.5 本章小结
第七章 总结与展望
7.1 总结
7.2 论文主要的创新点
7.3 发展与展望
参考文献
攻读博士期间发表的学术论文
攻读博士期间参加的科研项目
致谢