光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究

申远; 王怡影; 竺长安; 齐向东

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光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究

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对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实时调节PID控制参数,实现精密定位的自适应控制.通过控制实验,稳定地获得了5 nm以内的定位精度.

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来源
《中国科学技术大学学报》|2014年第2期|165-170|共6页
作者
申远; 王怡影; 竺长安; 齐向东;
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作者单位

合肥师范学院电子信息工程学院,安徽合肥230601;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230027;

合肥师范学院电子信息工程学院,安徽合肥230601;

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230027;

长春光学精密机械与物理研究所,长春130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数据处理、数据处理系统;
关键词
光栅刻划机; 精密定位; BP神经网络; PID控制;

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