スパッタ法による鉄微粒子を含hだ二酸化チタン薄膜の作成と磁気的性質

摘要

二酸化チタンは光触媒能·光伝導性を示し，ワイドギャップ半導体として知られており，可視光に対して透明な物質である．この特性から，強磁性体を添加することで，透明磁性半導体の基材としての利用が期待できる．本研究では，強磁性体として鉄を選択し，二酸化チタン薄膜（以下，TiO_2薄膜）へ少盈添加し，透明磁性半導体の創製を目指している．本講演では，作成したTiO_2薄帆およびTiO_2上に鉄微粒子の層を1層含hだ薄膜（以下，TiO_2-Fe薄膜）の，磁気的性質や電気的性質，結晶構造，光伝導性などの基礎物性の測定結果について報告する．