スパッタ法による鉄微粒子を含んだ二酸化チタン薄膜の作成と磁気的性質

摘要

二酸化チタンは光触媒能·光伝導性を示し，ワイドギャップ半導体として知られており，可視光に対して透明な物質である．この特性から，強磁性体を添加することで，透明磁性半導体の基材としての利用が期待できる．本研究では，強磁性体として鉄を選択し，二酸化チタン薄膜（以下，TiO_2薄膜）へ少盈添加し，透明磁性半導体の創製を目指している．本講演では，作成したTiO_2薄帆およびTiO_2上に鉄微粒子の層を1層含んだ薄膜（以下，TiO_2-Fe薄膜）の，磁気的性質や電気的性質，結晶構造，光伝導性などの基礎物性の測定結果について報告する．