溅射时间对二氧化钛薄膜光催化性能影响的研究

摘要

众所周知,在工业化进程越来越快的今天,在各个领域呈现出百花齐放的态势的同时,环境污染也成为了遏制经济的发展、影响着人类的正常生活的首要问题.如何安全有效地处理这些工业废料和有害物质成为了一个热门课题.通常所使用的物理或者化学方法都存有不同程度的弊端,如何更加安全高效的分解这些有害物质显得至关重要.近几十年来,光催化成为了一个新兴的研究领域,相比较传统方法而言,光催化操作简单,拥有较高的效率并且更加容易控制,通过不断努力,国内外科学家们的研究发现,二氧化钛可能是最具潜力的新型光催化材料,在兼具有良好的化学稳定性与耐磨性的同时,相对更加低廉的成本也让其在光学薄膜的生产和制备中也得到了更加广泛的应用.实验中以二氧化钛为靶材,玻璃为基体,利用磁控溅射法制备二氧化钛薄膜.制备的过程中,可以通过改变制备过程中的各个参数（例如温度等）获得结构和性能参数各异的试验样品.本论文主要研讨和分析了不同的溅射时间对薄膜的结构及其光催化性能的影响.