回転傾斜露光法による複雑マイクロ構造作製とバイオデバイスへの応用

摘要

これらに対し、本研究では、大量生産可能であり、簡便に複雑な三次元構造を設計、作製可能なデバイス作製手法として回転傾斜露光法を提案する。構造作製において、シミュレーションを行うことでマスク設計指針とし、バイオデバイスへの応用を試みることによって本研究で提案した作製手法の有用性を示す。