首页> 中文期刊> 《上海交通大学学报》 >倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用

倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图形转移制备了PDMS异平面圆锥形实心微针的倾角为67°、高度为353μm的微针阵列.该方法具有低成本多材料适用的制备优势.

著录项

来源
《上海交通大学学报》 |2010年第8期|1100-1102|共3页
作者
蒋宏民; 朱军; 曹莹; 陈翔; 陈迪;
展开▼
作者单位

上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国防科技重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计与计算;
关键词
三维微加工; 异平面微针; 倾斜旋转紫外光刻;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 浅谈微针与强脉冲光在痤疮治疗上的临床应用区别 [J] . 张琳琳 . 中国医疗美容 . 2016,第007期
2. 紫外激光在柔性线路板盲孔微加工中的应用 [J] . 刘雷文1 . 中国高新科技 . 2019,第007期
3. 紫外激光在柔性线路板盲孔微加工中的应用 [J] . 刘雷文 . 中国高新科技 . 2019,第007期
4. 强紫外激光在空气中长程传输受激旋转拉曼散射效应 [J] . 李廷红 ,张彬 ,蔡邦维 . 强激光与粒子束 . 2003,第010期
5. 电解质等离子抛光在高碳微合金钢上的应用研究 [J] . 卓城之 ,陆忠 ,刘国强 . 表面技术 . 2018,第4期
6. 基于倾斜旋转光刻的空心微针制备新方法 [C] . 朱军 ,曹莹 ,蒋宏民 . 2010年第九届中国国际纳米科技（西安）研讨会 . 2010
7. 30度倾斜位摄片法在肱骨髁上骨折远折端旋转中的应用 [A] . 许国强 . 2014

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号