レーザーマイクロドリルの新手法を開発直径数μmの貫通孔を簡単に形成マイクロマシンなどの加工に期待

摘要

産業技術総合研究所のマイクロ·ナノ機能広域発現研究センター（つくばセンター）の松岡芳彦チーム長と河野正道特別研究員は、レーザー光を使ったマイクロドリルの新しい手法を開発した。 直径数～十数μmで深さ数十～数百μmの微細な円柱形状の貫通孔を、集光レンズと加工対象の距離（ワークディスタンス）の精密制御を必要とせずに形成できる。 単なる孔開けだけではなく、溝掘りや切断など、マイクロマシン製造などの広範なビーム微細加工への展開が期待される。