センサ基礎講座 第4回 ＜機械量センサ＞

摘要

機械量の検出は機械を電子制御する各種システムにおけるフィードバック制御の基本であり、圧力や加速度など以前から多くのセンサが開発されてきた。特に近年半導体製造技術の発展とともにMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術が用いられるようになり、小型で低価格のMEMSセンサが大量生産されるようになった。これによりいくつかの機械量センサは従来の機械的な構造体からエレクトロニクスをも含むコンパクトな回路部品的な存在へと大きく変貌した。機械量は加速度、角速度などの運動体の基本情報から圧力、流量など流体の基本量、さらには荷重、トルク、回転数、角度など実に広範な検出対象が含まれるが、ここでは代表的なセンサとして加速度センサと圧力センサを取り上げて解説する。