用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法

摘要

本发明实现一种用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法、一种集成的微机械的流体传感器构件和一种用于借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法。方法包括下述步骤：构造（S01）第一晶片（W1），所述第一晶片在第一衬底（110）上具有第一布拉格镜（DBR1）并且具有光发射装置（112）；其中光发射装置（112）被构造用于从光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的表面（112‑f）沿发射方向（R）发射光线（L）；构造（S02）第二晶片，所述第二晶片在第二衬底（120）上具有第二布拉格镜（DBR2）并且具有光电二极管（116），其中光电二极管（116）布置在第二布拉格镜（DBR2）的朝向第二衬底（120）的表面（DBR2‑b）上；将第一晶片（W1）接合（S3）或者粘接到第二晶片（W2）上，使得在光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的侧（112‑f）上，以及在第二布拉格镜（DBR2）的背离光电二极管（116）的表面（DBR2‑f）上构造空腔（114），能够将流体（F）导入到所述空腔中，并且所述空腔能够由光线（L）穿越；并且从第一和第二晶片（W1，W2）分离（S04）流体传感器构件。