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机译:原子层沉积TiAlO合金电介质的块状GaAs和外延GaAs / Ge的表面钝化和界面性质
III—V surface passivation; atomic layer deposition; TiAlO alloy dielectric; epi-GaAs/Ge; effective dielectric constant; hysteresis voltage; elemental out-diffusion; GaAs MOS;
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