半導体製造装置用マイクロ波電源装置の開発

摘要

シリコン半導体が発明されて以降，半導体製造技術の進歩は著しく,それに伴い半導体の性能，機能の向上も目を見張るものがあり，CPU, RAM, ROMを始めとする半導体集積回路は，日々高容量化，高機能化，小型化が進hでおり，パーソナルコンピュータ（PC),スマートフォンなどの普及に貢献している。これは半導体メーカー，半導体製造装置メーカーにおいて微細加工，高密度化を進めてきた成果である。本稿では，半導体の進歩やそれを支えてきた製造装置とプラズマに関する内容を記載の上，マイクロ波プラズマの利用拡大とマイクロ波電源装置の開発について報告する。