MSE試験と材料表面分析前処理パルスエロージョンエッチング装置

松原亨

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MSE試験と材料表面分析前処理パルスエロージョンエッチング装置

机译：MSE试验和材料表面分析预处理脉冲蚀刻蚀刻装置

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長年粒子加工に携わって改めて微粒子加工による技術が急速に進化·高度化していることを実感している．進化の理由は社会ニーズに対応するため技術の高度化が図られたことで，そのニーズ先は薄膜技術やナノ加工技術や新材料製造技術分野であったりしている．本稿では高度粒子応用技術を使ったMSE試験とPERET（ピーレット）装置に関して実例を交えて紹介する．

机译：我们认识到，通过颗粒处理的技术迅速地进化和前进，与颗粒处理相比多年。进化的原因是实现技术的进步以满足社会需求，需求将是薄膜技术，纳米力学和新材料制造技术。在本文中，我们使用先进的粒子应用技术和关于PERET（佩塞特）设备的示例来引入MSE测试。

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来源
《潤滑経済》 |2015年第607期|共8页
作者
松原亨;
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作者单位

株式会社パルメソ;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词

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1. MSE試験と材料表面分析前処理パルスエロージョンエッチング装置 [J] . 松原亨潤滑経済 . 2015,第607期

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