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机译:通过深X射线光刻制造用于伪金属结构形式的Terahertz范围的准光学选择元件
Budker Institute of Nuclear Physics Siberian Branch Russian Academy of Sciences;
Budker Institute of Nuclear Physics Siberian Branch Russian Academy of Sciences;
Institute of Automation and Electrometry Siberian Branch Russian Academy of Sciences;
Budker Institute of Nuclear Physics Siberian Branch Russian Academy of Sciences;
Novosibirsk National Research State University;
deep X-ray lithography; synchrotron radiation; X-ray mask; laser microtreatment (cutting); pseudometallic structure; terahertz radiation; high-pass filter; planar lens;
机译:通过深X射线光刻制造用于伪金属结构形式的Terahertz范围的准光学选择元件
机译:二次效应对使用深X射线光刻技术制造亚微米抗蚀剂结构的影响
机译:用于批量制造基于聚合物的厚天线结构的深X射线光刻工艺
机译:X射线光刻的新应用:具有深相轮廓的闪耀衍射光学元件的制造
机译:分层结构中的图像形成:适用于X射线和极紫外光刻。
机译:使用简单尺寸变换通过同步X射线平版印刷术制备各种角度的聚合物微结构
机译:<标题> X射线光刻的新应用:具有深相剖面的闪光衍射光学元件的制造标题>
机译:X射线光刻的新应用:具有深相分布的闪耀差分光学元件的制造