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机译:采用飞秒激光制作碳化硅碳化硅三维微流体的制造
Univ Wisconsin Dept Elect &
Comp Engn 1415 Johnson Dr Madison WI 53706 USA;
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femtosecond laser; micromachining; silicon carbide; microfluidics; harsh environment; hard material;
机译:采用飞秒激光制作碳化硅碳化硅三维微流体的制造
机译:使用飞秒激光辐照和酸蚀刻在碳化硅中制造通孔
机译:飞秒激光辐照和酸蚀在碳化硅中制造微细槽
机译:己烷中硅和钼的飞秒激光烧蚀碳化物纳米粒子的制备
机译:飞秒脉冲激光烧蚀和硅衬底上用于MEMS制造的3C碳化硅膜的图案化。
机译:飞秒激光将PDMS改性为导电碳化硅
机译:校正:使用水辅助飞秒激光制造的垂直侧壁电极整合到3D玻璃微流体芯片中,用于原位控制ElectrAlis
机译:用激光光化学处理制备si中导体的硅片。