...
机译:基于压电PZT的RF MEMS组件和系统进步
US Army Res Lab Sensors &
Elect Devices Directorate 2800 Powder Mill Rd Adelphi MD 20783 USA;
US Army Res Lab Sensors &
Elect Devices Directorate 2800 Powder Mill Rd Adelphi MD 20783 USA;
US Army Res Lab Sensors &
Elect Devices Directorate 2800 Powder Mill Rd Adelphi MD 20783 USA;
US Army Res Lab Sensors &
Elect Devices Directorate 2800 Powder Mill Rd Adelphi MD 20783 USA;
US Army Res Lab Sensors &
Elect Devices Directorate 2800 Powder Mill Rd Adelphi MD 20783 USA;
机译:基于压电PZT的RF MEMS组件和系统进步
机译:用于高温封盖,器件钝化和基于压电的RF MEMS / NEMS谐振器应用的脉冲激光沉积AIN薄膜的研究进展
机译:基于PZT的RF MEMS开关的晶圆级转移技术
机译:基于PZT的MEMS压电传感器的设计与仿真
机译:MEMS传输:用于可重构RF电路的压电执行器阵列。
机译:用于完全植入式听力系统的螺旋形压电MEMS悬臂阵列
机译:基于PZT的压电微镜在现实环境中操作的性能和可靠性