Evaluation of high-speed linear air-knife based wafer dryer

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• 来源
  《Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena》 |2013年第null期|共4页
• 作者

  Tamaddon A.-H.; Belmiloud N.; Doumen G.; Struyf H.; Mertens P.W.; Heyns M.;

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• 作者单位

  IMEC Kapeldreef 75 B3001 Leuven Belgium;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 半导体物理学;
• 关键词

  Air-knife; Drying defect; Linear wafer drying;

  机译：空气刀;干燥缺陷;线性晶片干燥;