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机译:用硼和磷离子植入单晶硅的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂薄膜的粘附性
Polotsk State Univ Novopolotsk 214400 BELARUS;
Belarusian State Univ Minsk 220050 BELARUS;
Belarusian State Univ Minsk 220050 BELARUS;
Belarusian State Univ Minsk 220050 BELARUS;
diazoquinone-novolac photoresist; ion implantation; adhesion; silicon;
机译:用硼和磷离子植入单晶硅的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂薄膜的粘附性
机译:磷和硼掺杂对锗离子注入非晶化多晶硅薄膜固相再结晶的影响
机译:硼注入硅衬底对c-BN薄膜内应力和粘附强度的影响
机译:在很宽的能量范围内(几keV到几MeV)对单晶硅中的硼,磷和砷注入进行建模
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:通过硅烷化合物改性和快速热退火处理化学镀镍磷膜在硅片上的附着力
机译:用硼和磷离子植入单晶硅的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂薄膜的粘附性
机译:单晶硅中离子注入硼,氮和磷的性质