机译:用硼和磷离子植入单晶硅的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂薄膜的粘附性
机译:用锑离子植入的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂膜的反射率的辐射刺激转化
机译:重氮醌 - 酚醛清漆抗蚀剂植入P +和B +离子的EPR光谱
机译:在很宽的能量范围内(几keV到几MeV)对单晶硅中的硼,磷和砷注入进行建模
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:通过硅烷化合物改性和快速热退火处理化学镀镍磷膜在硅片上的附着力
机译:硼离子注入的二氮醌 - 酚醛清漆光致抗蚀剂膜的改性
机译:单晶硅中离子注入硼,氮和磷的性质