ポストArFリソグラフィ技術の展望－最新の開発状況から半導体製造を検証

摘要

本稿では，07年12月19日に東京·神保町の学士会館において行われた，プレスジャーナル主催「第77回VLSI FORUMポストリソグラフィ技術の展望」についてレポートする。