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机译:ECR AR等离子CVD的原位B掺杂Si薄膜的电气性能和B深度剖面,无基质加热
Tohoku Univ Res Inst Elect Commun Lab Nanoelect &
Spintron Aoba Ku 2-1-1 Katahira Sendai Miyagi 9808577 Japan;
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Plasma chemical vapor deposition; Epitaxial growth: silicon; In-situ boron doping; pn junction diode; Depth profile;
机译:ECR AR等离子CVD的原位B掺杂Si薄膜的电气性能和B深度剖面,无基质加热
机译:电子 - 回旋共振AR等离子体诱导在Si(100)上的B掺杂Si外延膜中没有底物加热的B原子的电激活
机译:通过ECR AR等离子体CVD形成的Si / Si-Ge合金/ Si(100)异质结构的电子性能,无基质加热
机译:通过低能ECR Ar等离子CVD在没有衬底加热的情况下在Si(100)上外延生长的应变Si_(1-x)Ge_x膜的形成和表征
机译:通过热线和ECR-等离子CVD技术制备的纳米晶硅薄膜太阳能电池的结构和电子性能。
机译:在没有基板加热的情况下通过ECR Ar等离子增强CVD生长的掺杂B原子层的Si薄膜的载流子特性
机译:ECR AR等离子体增强CVD生长的B原子层掺杂Si膜的载体性能,无基质加热