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机译:通过层,原子原子层轰击漏光电流降低和膜致密化ZrO2高k栅极电介质
Natl Taiwan Univ Dept Mat Sci &
Engn Taipei 10617 Taiwan;
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Atomic layer deposition; High-k gate dielectric; Leakage current; Film densification;
机译:通过层,原子原子层轰击漏光电流降低和膜致密化ZrO2高k栅极电介质
机译:在具有Al / sub 2 / O / sub 3 /覆盖层的1.61 nm HfO / sub 2 /高k介电多晶硅栅中大大降低了栅极泄漏电流
机译:通过对高K栅极电介质进行原子层蚀刻来改善金属栅极/高K电介质CMOSFET的特性
机译:CMOS高k栅极电介质层逐层生长沉积Hfalox膜的研究
机译:高k栅极电介质的反应:在ha,锆,钇和镧基电介质以及二氧化ha原子层沉积的原位红外结果方面的研究。
机译:四(二甲基氨基)锆和臭氧原子层沉积生长的高k ZrO2薄膜的结构和介电性能
机译:通过层,原位原子层退火的低温原子层对AlN超薄膜的外延