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机译:铜离子与过氧化氢之间的芬顿反应,在化学机械平面化中钨的高去除速率
Hanyang Univ Dept Nanoscale Semicond Engn Seoul South Korea;
Hanyang Univ Dept Energy Engn Seoul South Korea;
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Samsung Elect Clean CMP Technol Team Memory Gyeonggi Do South Korea;
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机译:铜离子与过氧化氢之间的芬顿反应,在化学机械平面化中钨的高去除速率
机译:过氧化氢对基于柠檬酸的铜化学机械平面化浆料中摩擦和热行为的影响
机译:使用草酸和过氧化氢的无磨料溶液对铜进行化学机械平面化
机译:含有甘氨酸和氢过氧化氢化学机械平坦化(CMP)浆料的铜电化学
机译:使用无线温度传感器实时估算铜化学机械平面化(CMP)中的材料去除率(MRR)。
机译:使用生物炭支持的纳米零价铁作为非均相过氧化氢活化剂对抗生素奥硝唑进行芬顿样氧化
机译:在对铜化学机械平面化感兴趣的基于羟胺的化学物质中去除铜的基础研究