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机译:VHF-PECVD技术沉积的微晶硅膜的结构性能研究
VHF-PECVD; microcrystalline silicon film; structural property;
机译:VHF-PECVD技术沉积的微晶硅膜的结构性能研究
机译:VHF-PECVD法沉积微晶硅薄膜的光稳定性
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机译:通过VHF-PECVD制备的玻璃上的硼掺杂微晶硅薄膜的微结构和电气演进
机译:中子辐照产生的微晶氢化硅薄膜的结构表征。
机译:Nd含量对富硅二氧化硅薄膜结构和光致发光性能的影响
机译:通过HW-CVD和VHF-PECVD技术生长的微晶硅薄膜的少数载流子特性