三井化学、下関で三フツ化窒素を来春増強～モノシランも年内増強

摘要

三井化学は、100％子会社の下関三井化学に生産委託している三フツ化窒素（NF3）を約7割増強する。 NF3は電子デバイスの製造工程で不要物除去に使用されるクリーニングガスで、下関の年産能力は現在450トンだが、2005年春をめどに750トンへ引き上げる。 同じく半導体などの絶縁膜形成に使用されるモノシラン（ガス）についても、年内をめどに下関の設備（能力は非公表）を5割程度増強したい考え。