用于制造纯度不同的氮气的氮气制造系统和该氮气制造方法

摘要

本发明的课题是提供抑制耗电量增加、同时用一个精馏塔制造含有期望浓度氧气的高纯度氮气和含有期望浓度氩气的超高纯度氮气的氮气制造系统和该制造方法。氮气制造系统具有用于将原料空气冷却的热交换器(H)、具有被导入经热交换器(H)被冷却了的原料空气的精馏部(C)和位于塔顶的冷凝器的氮气精馏塔、从热交换器(H)向位于精馏部(C)下方的缓冲部导入原料空气的第1导入配管、从氮气精馏塔的缓冲部将富氧液化气导入冷凝器(C)的第2导入配管、从精馏部(C)导出超高纯度氮气并回收的第1导出配管、以及，从精馏部(C)的中间段导出高纯度氮气并回收的第2导出配管。