(S328)蛍光収量法による軟X 線XAFS の分析深さの検討 (2)

摘要

前報では3d 遷移金属元素のL 吸収端XAFS による分析深さを10～250nm の酸化物薄膜を用いて測定を試みた。その結果、部分電子収量法(PEY)と全電子収量法（TEY）では10nm 以下、部分蛍光収量法（PFY）ではL2 吸収端で50nm 前後と推定できた。一方、PFY のL3 吸収端では、いわゆる自己吸収によると考えられる効果が顕著で、信頼できる分析深さを求めることができなかった。そこで本報では、NiO を対象としてその薄膜を用いてL 吸収端の分析深さをPFY とともに自己吸収がないと言われる逆部分蛍光法（IPFY）2）で検討し、L 吸収端のPFY およびIPFYの吸収効果のないXAFS スペクトルを推定した結果を報告する。