蛍光収量法による軟X線XAFSの表面分析の可能性 ――分析深さ、自己吸収効果とその対応について

摘要

固体の表面状態分析法として，XPSが汎用的に利 用されてきている.XPSでは分析深さは数nm程度 であり，それより深い情報はArスパッターで表面 を除去しながら実施することが多い.しかしながら， Arスパッターにより多くの酸化物が還元したり， 水酸化物が酸化物に，硫化物が価数を変えたりと， 状態分析の観点では多くの問題がある[1]. 一方， 鉄鋼材料の酸化?腐食皮膜は干渉色の着色皮膜程度 でも数lOnm厚さがあり，腐食反応等を考える際に は，酸化膜全体の元素の状態を正確に把握すること が必要である.