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机译:含氟等离子体中蚀刻蚀刻在Si表面上的氟化碳纳米线的纳米纳米纳米纳米纳米
Russian Acad Sci Inst Phys &
Technol Yaroslavl Branch Univ Skaya St 21 Yaroslavl 150007 Russia;
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Lomonosov Moscow State Univ Dept Chem Moscow 119991 Russia;
plasma etching; inductively coupled plasma; fluorine-containing plasma; fluorinated carbon film; nanonet fluorocarbon film; fluorinated carbon nanowires; plasma-assisted self-formation;
机译:含氟等离子体中蚀刻蚀刻在Si表面上的氟化碳纳米线的纳米纳米纳米纳米纳米
机译:通过循环刻蚀钝化工艺在氟化等离子体中在硅表面形成微结构
机译:通过循环刻蚀沉积工艺在氟化等离子体中的硅表面上形成微针的机理
机译:通过组合等离子体蚀刻工艺在SiO_2表面上形成金属纳米线和纳米型结构
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:可重复使用的表面增强拉曼光谱基片该基片由硅纳米线阵列制成并涂有通过金属辅助化学蚀刻和光子还原技术制备的银纳米颗粒
机译:在RF扫描等离子体的放电后的pTFE表面蚀刻 火炬:喷射氟化物种的证据