日立ハイテクサイエンス，蛍光X線膜厚計を発売

摘要

日立ハイテクノロジーズの100％子会社である日立ハイテクサイエンスは，小型化·微細化が進む電子部品に対応し，直径100μm以下の微小部のメッキ膜厚や組成を，迅速·安全·容易に検査する蛍光X線膜厚計「FT150シリーズ（FT150／FT150h／FT150L）」を開発し，日本国内·海外向けに発売する。