机译:由蒙面无掩模湿法蚀刻制造的低横轴灵敏度压阻式加速度计
China Jiliang Univ Coll Mech &
Elect Engn Hangzhou 310018 Zhejiang Peoples R China;
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Piezoresistive accelerometer; Maskiess wet etching; Iodine-supersaturated KOH solution; Cross-axis sensitivity;
机译:由蒙面无掩模湿法蚀刻制造的低横轴灵敏度压阻式加速度计
机译:极低的横轴灵敏度压阻式加速度计,在厚度减小的检测质量上方带有电镀金层
机译:考虑灵敏度,谐振频率和跨轴灵敏度的压阻式加速度计几何形状的分析和设计
机译:四光束压阻式加速度计的横轴灵敏度增强
机译:具有耦合器的平面波导太阳能聚光器,该耦合器由激光诱导的背面湿法刻蚀制成。
机译:由ZnO / Si芯壳纳米线的湿化学蚀刻制造的硅纳米管
机译:粘合双SOI的硅槽翅片波导,通过各向异性湿法蚀刻技术制造的低功率累积调制器
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试