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机译:非平衡磁控反应溅射生长高c轴取向AlN膜及其电学性能
Aluminum nitride; Thin films; Magnetron reactive sputtering; Unbalanced magnetic field; Additional magnetic field; Electric properties;
机译:非平衡磁控反应溅射生长高c轴取向AlN膜及其电学性能
机译:衬底加热对不平衡磁控溅射沉积AlN薄膜的c轴织构和压电性能的影响
机译:基板加热效果对由不平衡磁控溅射沉积的AlN薄膜的C轴质地和压电性能
机译:射频磁控溅射表面声波沉积c轴取向AlN膜
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:射频磁控溅射在γ-LiAlO2上低温生长c轴取向AlN薄膜