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机译:用作耐用热纳米压印光刻模板的替代纳米结构薄膜材料
nanoimprint; adhesion; anti-sticking layers; diamond-like carbon; silicon carbide;
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机译:利用生物质开发纳米压印光刻模板材料
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机译:耐用的类金刚石碳模板,用于纳米压印光刻。
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机译:使用通过热纳米压印光刻制造的环烯烃共聚物模板进行纳米结构转移