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【2h】

Nanostructure transfer using cyclic olefin copolymer templates fabricated by thermal nanoimprint lithography

机译：使用通过热纳米压印光刻制造的环烯烃共聚物模板进行纳米结构转移

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作者
Li W; TANG X; LI S; KHAN A;
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年度 2014
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正文语种 eng
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