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机译:电子回旋共振等离子体蚀刻获得的硅纳米管的椭圆偏振光谱分析
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机译:电子回旋共振等离子体刻蚀制备的硅纳米尖端的形貌控制
机译:电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅薄膜的湿法刻蚀研究
机译:基于电子的电子快速谐振在CF4 / AR等离子体中的硅的化学辅助等离子体蚀刻
机译:在电子回旋共振(ECR)等离子体反应器中对硅进行六氟化硫蚀刻时的表面反应特性。
机译:n-i-p氢化非晶硅基光伏器件的光谱椭圆偏振法研究
机译:基于电子的电子快速谐振在CF4 / AR等离子体中的硅的化学辅助等离子体蚀刻