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机译:用于离子束沉积的极紫外光刻的高性能Mo-Si多层涂层
机译:用于离子束沉积的极紫外光刻的高性能Mo-Si多层涂层
机译:/ Si多层涂层对极紫外光刻系统成像特性的影响
机译:Mo / Si多层涂层对极紫外光刻系统成像特性的影响
机译:用于极紫外光刻的多层反射涂层
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:用于超宽带光吸收的金属-绝缘体多层中的无序纳米孔图案:用于光刻的原子层沉积无高度可重复的大规模多层生长
机译:极端紫外线光刻的多层反射涂层
机译:用于极紫外光刻的10x投影的多层涂层