ウェーハ搬送技術の歴史と現状ウェーハ搬送がロボットになるまでの経緯と最新のEFEM紹介

摘要

9月15日から17日までセミコン台湾が行われた。 会場に行くと弊社の台湾子会社『ローツェテクノロジー』の社長が「来年はセミコン台湾の出展をやめましょうか？ 」と聞いてきたので「何故出展をやめるのか？ 」と聞き直すと、「今までメイン会場で大きく展示していたアプライドマテリアルズもラムリサーチもノベラスもアルバックも出展していません。 ブルックスオートメーションも展示をやめているし、アシストテクノロジーズもレンタル小間1小間ですよ！ 」と言った。 このような状況で始まったセミコン台湾ではあるが、来客は多くあり成果があったので、弊社は来年も展示することを決めた。