総論：MEMS市場と技術の動向－集積化MEMSとパッケージング

摘要

ビデオプロジェクタ用チップの代表的なものは、米国のテキサス·インスツルメンツ社で開発されたDMD (Digital Micro-mirror Device)である。 これはチップ上に静電引力で動く鏡が100万個程形成され、それぞれの鏡を動かす駆動回路が集積化されている。 このようにMEMS技術を取り込んだ集積回路、すなわち「集積化MEMS」が半導体技術の新しい流れになりつつあり、今後は高周波CMOSチップ上に高性能なフィルタを形成したものなどで、少ない部品でも高度な働きをするワイヤレス機器などへ進化していくものと予想される。 すなわち集積回路上に部品が載ることになり、電子部品や電子機器で我が国が競争力を保っていくにはMEMSは不可欠な技術と言える。 以下では、このような集積化MEMSとそのパッケージングに関連した話題を提供する。