ミニマルマスクレス露光装置：マスクが不要なリソグラフィの実現

摘要

マスクレスでのリソグラフィを実現してTATの大幅短縮に貢献する、ミニマル規格準拠のマスクレス露光装置を開発した。マスクレス露光技術の概要と、ミニマル化への挑戦経緯、最新の量産機について述べる。