High-k／メタルゲート構造形成プロセスとエッチング·洗浄技術

摘要

本稿では、High-k／メタルゲート積層構造作成する場合の、エッチング·洗浄技術の課題について述べる。 第二節で要素技術としてのドライエッチング、ウエットエッチング技術を簡単に示し、第三節で典型的な作成フローを概説しながら各フローにおけるエッチング·洗浄技術の課題·問題点を挙げる。第4節では今後の課題と展望について概観する。