高精度多層LTCC基板を用いた小型磁界プローブの開発と電流計測への応用

摘要

高精度なガラスセラミック多層基板を用いて高密度PCBやIC近傍の磁界計測に対応できる小型磁界プローブを開発した。 磁界検出部は平面型のシールディドループ構造を採用し，プローブチップの外形寸法を1mm 程度まで低減した。 実験結果より，6GHzまで良好な周波数特性を有することが分かった。 またLTCC配線基板上に形成されたマイクロストリップラインを用いて評価した結果，最大で従来型の2倍程度の空間分解能があることが分かった。 本磁界プローブを用いて配線幅1mmのマイクロストリップラインの高周波電流を計測し誤差の評価を行った。