超小型磁界プローブと電界プローブを用いたマイクロ波電磁界測定と実効誘電率測定への応用

摘要

超小型磁界ループプローブと電界同軸プローブを用いたマイクロ波平面回路上の電磁界測定について報告する。本測定の実際的応用例としてマイクロストリップ線路の実効誘電率測定を試みた。 特に、小型ループ型磁界プローブ(Size=2.3×2.3mm)はCPW構造による対称性を保持し、テーパー遷移伝送線路を介してループアンテナを構成し、ループ共振器自身の共振を抑圧している。 この新たに作製した小型磁界プローブセンサーを用いて、平面回路上(高さ方向zを一定に設定し、x-y平面上を走査)の磁界分布の自動測定システムを構築し、ネットワークアナライザによって信号を検出し、一回の回路上の2次元走査により、10GHzまでの電磁場の周波数特性が測定可能である。 実際に測定した電磁界とFDTD及び市販のソフトによるシミュレーション結果とは比較的良く一致しており、本電磁界プローブセンサー及び測定システムの有効性が確かめられた。