減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH){sub}2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発

摘要

減圧雰囲気下で2MHz ICPプラズマ源および2つのCa(OH){sub}2/CaO剤充填筒で構成し、かつフッ素酸排水処理を必要としないフロロカーボン除去システムを開発した。 2MHz ICPプラズマはフロロカーボンを分解し、Ca(OH){sub}2/CaO剤充填筒は活性なフッ素化物を固定する。 CF{sub}4導入量200cc/min、プラズマ出力3kWおよび圧力300Paの条件で、フロロカーボンの中で最も安定なガスの1つであるCF{sub}4を99.9％の効率で除去することができた。この結果をCO{sub}2換算排出量で評価し、残存CF{sub}4に起因する排出量(0.57L/min)に対してプラズマ源消費電力に起因する排出量(12.35L/min)が非常に大きいことを明らかにした。